EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
0200-10073 Isolator Kuarsa 200mm
AMAT 0200-10073 Insulator Quartz 200mm minangka komponen insulasi listrik kuarsa kanthi kemurnian dhuwur sing dirancang kanggo digunakake ing sistem etsa lan deposisi plasma semikonduktor. Diposisikan ing wilayah katoda sing didayani RF, komponen iki nyedhiyakake isolasi listrik sing penting lan stabilitas medan, njamin generasi plasma sing konsisten lan kinerja proses sing bisa dipercaya. Diprodhuksi dening Semixlab Technology nggunakake kuarsa leburan kemurnian ultra-tinggi lan mesin presisi, komponen iki njamin generasi partikel sing sithik, risiko kontaminasi sing suda, lan kompatibilitas OEM lengkap. Iki minangka solusi panggantos sing ideal kanggo pabrik semikonduktor sing nggoleki bagean kuarsa kanthi kinerja dhuwur lan hemat biaya kanggo sistem pangolahan plasma canggih. Kita ngarepake pitakon luwih lanjut.
Description
Insulator Kuarsa AMAT 0200-10073 200mm minangka komponen kuarsa leburan sing direkayasa kanthi presisi sing dirancang kanggo nyedhiyakake insulasi listrik lan stabilitas struktural ing peralatan pangolahan plasma semikonduktor. Iki umume digunakake minangka insulator katoda ing sistem etsa lan deposisi 200mm.
Diprodhuksi saka kuarsa kemurnian ultra-dhuwur, komponen iki dirancang khusus kanggo beroperasi ing lingkungan sing nuntut sing kalebu:
● Daya RF frekuensi dhuwur
● Paparan plasma energi dhuwur
● Kimia proses reaktif (kayata, gas fluor, klorin)
● Kahanan siklus termal sing cepet
Ora kaya bagean kuarsa protèktif standar, insulator iki nduwèni peran listrik sing penting, njamin kopling RF sing stabil lan nyegah jalur arus sing ora dikarepke ing njero ruangan.
Ing Semixlab Technology, padanan AMAT 0200-10073 diprodhuksi kanthi kontrol kualitas sing ketat kanggo nyukupi utawa ngluwihi spesifikasi OEM, njamin kinerja sing bisa dipercaya lan bisa diulang ing manufaktur semikonduktor canggih.
Posisi ing Peralatan lan Peran Fungsional
Posisi Instalasi
Insulator Kuarsa biasane dipasang:
● Ing sakubenge utawa ing njero rakitan katoda ngisor
● Cedhak karo chuck elektrostatik (ESC)
● Ing wilayah elektroda sing didayani RF ing kamar kasebut
Iki dumunung ing zona pembangkitan plasma inti lan interaksi RF, ing ngendi isolasi listrik penting banget.
Fungsi Inti
1. Isolasi Listrik (Fungsi Utama)
Komponen iki tumindak minangka alangan dielektrik kinerja dhuwur, sing nyedhiyakake:
● Isolasi antarane elektroda konduktif lan struktur ruang
● Nyegah kebocoran RF lan jalur arus sing ora disengaja
2. Stabilisasi Lapangan RF
Kanthi njaga wates listrik sing wis ditemtokake, insulator mbantu:
● Nyetabilake efisiensi kopling RF
● Njaga distribusi kapadhetan plasma sing konsisten
3. Peningkatan Stabilitas Plasma
Insulator kuarsa nyumbang kanggo:
● Kurungan plasma sing dikontrol
● Swara lan ketidakstabilan listrik sing suda
Keuntungan: Distribusi energi ion sing luwih seragam lan asil proses sing konsisten.
4. Dhukungan Mekanik lan Stabilitas Termal
Kanthi struktur silinder utawa kaya pipa, komponen iki uga nyedhiyakake:
● Dhukungan struktural kanggo rakitan katoda
● Tahan panas sing apik banget ing kahanan pemanasan siklik
Mode Gagal Umum
Minangka komponen listrik lan plasma sing penting, Insulator Kuarsa kena sawetara mekanisme degradasi:
1. Degradasi Listrik
● Kontaminasi permukaan nggawe jalur konduktif
● Kinerja dielektrik sing suda suwe-suwe
Dampak: Ketidakstabilan RF, arus bocor, utawa penyimpangan proses.
2. Erosi sing Disebabake Plasma
● Bombardasi ion nyebabake permukaan dadi kasar
● Mundhut materi kanthi bertahap ngowahi geometri
Dampak: Owah-owahan ing distribusi medan listrik lan prilaku plasma.
3. Karusakan Busur Listrik (Pelepasan Listrik)
● Medan listrik dhuwur sing ana ing lokal nyebabake lengkungan
● Lumahing kobong utawa bolong
Dampak: Kontaminasi parah lan potensi kerusakan ruangan.
4. Retakan Tegangan Termal
● Siklus pemanasan lan pendinginan sing bola-bali
● Retakan cilik nyebar suwe-suwe
Dampak: Kerusakan mekanik lan downtime sing ora dikarepke.
5. Generasi partikel
● Kuarsa sing wis tuwa bakal ngeculake partikel mikro
● Degradasi permukaan nambah risiko kontaminasi
Dampak: Mundhut asil lan tambah cacat.
Apa sebabé milih Teknologi Semixlab?
Kanthi keahlian sing jero ing bahan semikonduktor lan komponen proses, Teknologi Semixlab nyedhiyakake solusi kuarsa kinerja dhuwur sing dirancang kanggo lingkungan plasma sing nuntut:
✔ Kuarsa Kemurnian Ultra-Dhuwur: Nyilikake kontaminasi lan njamin kinerja dielektrik sing stabil.
✔ Mesin Presisi: Toleransi sing ketat kanggo jarak listrik sing konsisten lan kompatibilitas OEM.
✔ Perawatan Permukaan sing Dioptimalake: Nyuda generasi partikel lan nambah kompatibilitas plasma.
✔ Umur Layanan sing Luwih Awet: Nambah daya tahan ing sangisore paparan RF lan plasma, nyuda biaya kepemilikan (CoO).
✔ Desain sing Kompatibel karo OEM: Integrasi sing lancar karo platform AMAT tanpa gangguan proses.
aplikasi
Insulator Kuarsa AMAT 0200-10073 digunakake sacara wiyar ing:
● Sistem Etsa 200mm Bahan Terapan
● Proses etsa plasma (poli, dielektrik, etsa konduktor)
● Kamar CVD lan PVD sing mbutuhake insulasi RF
Iki penting banget ing manufaktur semikonduktor lawas lan khusus, kalebu:
● Piranti daya (IGBT, SiC)
● Pabrikasi MEMS
● Produksi sinyal analog lan campuran
Layanan kita
