Baki RTP Grafit Dilapisi CVD SiC

Sistem RTP pancen nglebokake tray dhukungan wafer liwat pemeras. Saben siklus, tray kasebut cepet-cepet digawe panas banjur adhem kanthi cepet - lan kedadeyan kasebut kedadeyan ewonan kaping sajrone umure. Yen bahan utawa proses manufaktur ora dikontrol kanthi ati-ati, kejutan termal sing bola-bali kasebut bisa nyebabake tray kasebut bengkong utawa kelangan bentuke.

Pendekatan kita ora mung babagan tahan suhu dhuwur - nanging babagan mesthekake yen wafer tetep didhukung kanthi kuwat lan digawe panas kanthi rata, siklus demi siklus.

Kenapa SGL6510 Grafit?

Dadi kenapa kita milih SGL6510? Amarga substrate minangka tulang punggung saka kabeh tray. SGL6510 minangka grafit isostatik kanthi struktur sing seragam banget, konduktivitas termal sing dhuwur, lan ekspansi termal sing sithik - kabeh mau mbantu nyuda stres internal lan njaga stabilitas dimensi tray sajrone wektu. Iku penting banget kanggo tray tipis sing ngalami akeh siklus suhu.

Sawisé grafit diolah dadi mesin miturut wujud sing dikarepaké, lapisan CVD SiC sing padhet diterapake. Lapisan iki nglindhungi permukaan saka oksidasi, korosi, lan keausan, lan uga njaga supaya partikel ora metu.

Kerataan Luwih Penting Tinimbang Suhu

Saktemene, umume wong nganggep tantangan gedhe yaiku apa tray kasebut bisa tahan suhu 700°C. Nanging dudu kuwi masalahe - masalah sing sejatine yaiku deformasi. Tray grafit sing tipis bisa melengkung nalika proses mesin, nalika lapisan, utawa mung amarga pemanasan lan pendinginan sing bola-bali. Sanajan owah-owahan bentuk sing cilik bisa mengaruhi sepira apik wafer kasebut dipasang lan sepira rata panas nyebar.

Mulané kontrol kerataan minangka salah sawijining prioritas utama sajrone manufaktur. Kita nggunakake grafit SGL6510 kualitas dhuwur kanthi struktur internal sing seragam, kita njaga toleransi mesin tetep kenceng sadurunge dilapisi, kita nggunakake proses CVD SiC stres rendah, lan kita mriksa kerataan sawise saben tahap produksi utama. Hasilé: umumé tray kita entuk kerataan ≤0.50 mm, lan akèh sing malah luwih rata.

Kinerja Materi

Lapisan CVD SiC ora mung cangkang tipis - nanging mbentuk alangan sing padhet lan atos sing pancen ngluwihi umur grafit ing ngisore. Ing panggunaan ing jagad nyata, iki tegese partikel sing luwih sithik, resistensi sing apik banget kanggo oksidasi lan korosi, lan resistensi kejut termal sing apik. Baki iki digawe supaya awet ing kamar semikonduktor sing resik.

Kekandelan lapisan standar kita yaiku 100 ± 20 μm, nanging kita bisa nyetel yen aplikasi sampeyan mbutuhake prekara liya.

Kenapa milih Semixlab?

Nggawe tray RTP sing bisa dipercaya ora mung babagan nglapisi grafit nganggo SiC. Nalika tray tipis, saben detail penting - presisi mesin, tegangan lapisan, kerataan pungkasan. Kita wis kerja nganggo lapisan grafit presisi lan CVD SiC sajrone pirang-pirang taun, mula kita ngerti carane ngimbangi faktor-faktor kasebut. Asil pungkasan yaiku tray sing njaga geometri, tetep resik, lan menehi umur layanan sing dawa sajrone produksi.

● Produk: Baki RTP Grafit Dilapisi CVD SiC

● Bahan Dasar: SGL6510 Grafit Isostatik

● Lapisan Permukaan: Silikon Karbida CVD (SiC)

● Kekandelan Lapisan: 100 ± 20 μm (bisa disesuaikan)

● Suhu Layanan Terus-menerus Maks.: nganti 1400°C

● Suhu Proses Khas: sekitar 700°C

● Kerataan: ≤0.20 mm (gumantung desain)

● Desain Khusus: kasedhiya

Sampeyan bakal nemokake tray iki ing macem-macem proses semikonduktor - RTP, RTA, dhukungan wafer suhu dhuwur umum, lan fabrikasi kamar bersih. Tugas utamane prasaja: nyekel wafer kanthi aman lan mindhah panas kanthi konsisten sajrone siklus termal.

1. Apa sebabe kerataan iku penting banget?

Amarga tray iki langsung nyangga wafer nalika dipanasake lan didinginkan kanthi cepet. Yen wafer kasebut bengkok sanajan mung sithik, wafer kasebut bisa uga ora rata, sing bisa ngganggu distribusi panas lan kemampuan pengulangan proses.

2. Apa tray iki isa mlaku terus ing suhu 700°C?

Ya - 700°C wis ana ing zona nyaman. Baki iki dirating kanggo panggunaan terus-terusan nganti udakara 1400°C, dadi 700°C ora dadi masalah.

3. Kekandelan lapisan apa sing sampeyan tawarake?

Standar kita yaiku 100 ± 20 μm, nanging kita bisa nyetel yen aplikasi sampeyan mbutuhake kekandelan sing beda.

4. Apa sampeyan nggawe tray RTP khusus?

Mesthi. Kita bisa nggarap gambar sampeyan kanggo ngasilake tray kanthi dimensi tartamtu, kekandelan lapisan, syarat kerataan, lan spesifikasi liyane sing sampeyan butuhake.