EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Grafit isostatik kemurnian dhuwur kanggo semikonduktor
Grafit isostatik kemurnian dhuwur minangka bahan maju utama ing manufaktur semikonduktor, Kanthi keseragaman termal, presisi dimensi, lan kinerja bebas kontaminasi, grafit isostatik tetep ora bisa dipisahake kanggo proses semikonduktor maju kayata MOCVD, RTP, difusi, lan epitaksi SiC. Kapadhetan seragam lan kemampuan mesin sing apik ngidini nggawe komponen sing kompleks lan kinerja dhuwur. Looking nerusake kanggo rembugan luwih.
Description
specifications
| Sifat fisik grafit isostatik | ||
| Property | unit | Value khas |
| Akeh Kapadhetan | g / cm³ | 1.83 |
| Atose | HSD | 58 |
| Resistivitas Listrik | μΩ.m | 10 |
| Kekuwatan Fleksural | MPa | 47 |
| Kekuwatan Kompresif | MPa | 103 |
| Kekuatan tarik | MPa | 31 |
| Modulus Muda | GPa | 11.8 |
| Thermal Expansion (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Konduktivitas Termal | W·m-1K-1 | 130 |
| Ukuran Grain Rata-rata | μm | 8-10 |
| Porosi | % | 10 |
| Konten Ash | ppm | ≤5 (sawise diresiki) |
aplikasi
Semixlab High purity Isostatic grafit, amarga kemurnian dhuwur, struktur gandum nggoleki, Kapadhetan seragam, resistance kejut termal, lan machinability banget, digunakake digunakake ing industri semikonduktor. Ing ngisor iki minangka produk rampung utama lan peran sing cocog ing proses kritis:
Grafit Isostatik kanggo Aplikasi Semikonduktor
1. Ing MOCVD (Deposisi Uap Kimia Logam-Organik)
MOCVD minangka proses inti kanggo nggawe lapisan epitaxial GaN, GaAs, lan SiC. Grafit isostatik umume digunakake kanggo nggawe:
● Susceptors: Dadi operator wafer sing nahan lan muter wafers nang reaktor. Dheweke nyedhiyakake transfer panas sing seragam, njamin pertumbuhan epitaxial sing konsisten ing permukaan wafer. Biasane dilapisi karo CVD SiC utawa TaC kanggo nambah resistensi kimia lan ngluwihi umur.
● Wafer Carriers / Graphite Boats: Digunakake kanggo mbukak macem-macem wafer bebarengan. Dheweke mbutuhake mesin sing tepat kanggo njaga flatness wafer lan supaya ora kontaminasi.
● Elemen Pemanas: Pemanas grafit nyedhiyakake lapangan termal sing stabil lan seragam sing penting kanggo epitaksi berkualitas tinggi.
Peran utama: Grafit isostatik njamin keseragaman suhu, stabilitas kimia, lan umur layanan sing dawa, sing langsung mengaruhi kualitas film epitaxial.
2. Ing Annealing & Difusi Furnaces
Langkah pangolahan termal suhu dhuwur, kayata difusi dopan, oksidasi, lan anil, gumantung banget marang komponen grafit isostatik, kalebu:
● Diffusion Furnace Boats: Tahan wafer sajrone proses anil lan difusi dopan suhu dhuwur. Grafit nyedhiyakake stabilitas termal sing apik lan deformasi minimal ing siklus termal sing bola-bali.
● Liner lan Komponen Insulasi: Lapisan lan tameng grafit nglindhungi kamar tungku saka kontaminasi lan ningkatake keseragaman suhu.
● Tabung Pemanas & Unsur: Digunakake minangka pemanas resistance ing lingkungan suhu dhuwur, ngirimake panas sing tepat lan konsisten.
Peran utama: Komponen grafit isostatik mbisakake perawatan panas sing bebas kontaminasi, stabil, lan bisa diulang, penting kanggo aktivasi dopan lan nyuda cacat.
3. Ing SiC Epitaxy (4H-SiC, 6H-SiC wutah)
Wutah epitaxial SiC mbutuhake suhu sing dhuwur banget (> 1500 ° C) lan lingkungan gas korosif. Grafit isostatik digunakake kanggo nggawe:
● Susceptors SiC-dilapisi: Nyedhiyani support substrat sak epitaxy SiC, mesthekake distribusi panas banget lan stabilitas lumahing ing kahanan nemen.
● Graphite Paddles & Wafer Holders: Wafers aman sak rotasi lan aliran gas, njupuk tingkat wutah seragam lan kekandelan lapisan.
● Komponen Tube Proses: Bagean grafit struktural ing jero reaktor epitaksi tahan lingkungan sing agresif nalika njaga kemurnian.
Peran utama: Grafit isostatik ing epitaxy SiC nyedhiyakake presisi dimensi, resistensi kimia, lan manajemen termal sing dipercaya, sing langsung mengaruhi asil wafer lan keseragaman film epitaxial.
Minangka pemasok utama grafit isostatik kemurnian dhuwur ing China, Semixlab setya nyedhiyakake produk lan solusi teknis sing canggih kanggo industri pangolahan semikonduktor. We welcome pitakonan Panjenengan sawayah-wayah lan Sincerely ngarep-arep kanggo dadi partner long-term Panjenengan.
Layanan kita
Toko Produk Semixlab
