Grafit berpori kemurnian dhuwur

Grafit berpori kanthi kemurnian dhuwur minangka bahan penting kanggo manufaktur semikonduktor canggih, ing ngendi stabilitas termal sing luar biasa, tingkat kontaminasi sing ultra-rendah, lan konsistensi proses minangka sing paling penting. Solusi grafit berpori kanthi kemurnian dhuwur saka Semixlab dirancang khusus kanggo proses semikonduktor suhu dhuwur lan sensitif marang kontaminasi.

Ing proses epitaksi, grafit berpori kemurnian tinggi digunakake sacara ekstensif ing komponen kunci kayata wadhah substrat, pembawa wafer, struktur distribusi gas, lan elemen medan termal. Sajrone pertumbuhan epitaksial Si, SiC, lan GaN, keseragaman suhu sing tepat lan aliran gas sing stabil minangka faktor penting kanggo kontrol kekandelan film, keseragaman doping, lan penekanan cacat. Mikrostruktur berpori grafit Semixlab ngidini distribusi termal sing luwih seragam lan difusi gas sing dikontrol ing permukaan wafer, saengga nyuda ketidakstabilan lapisan wates lan efek pinggiran.

Sajrone proses difusi lan oksidasi sing mbutuhake operasi sing terus-terusan ing ndhuwur 1000 °C, grafit berpori kanthi kemurnian tinggi dadi bahan struktural lan dhukungan sing bisa dipercaya kanggo prau wafer, liner, lan komponen insulasi termal. Dibandhingake karo grafit sing padhet, struktur berpori kasebut nyuda stres termal lan deformasi sajrone siklus termal sing bola-bali, nambah stabilitas dimensi lan ngluwihi umur komponen. Kelembapan kimia sing ana ing njero lan kandungan pengotor sing sithik mbantu njaga lingkungan proses sing resik, ndhukung kontrol sing ketat babagan profil difusi dopan lan kualitas film oksida nalika nyuda risiko generasi partikel lan kontaminasi silang.

Kanggo proses CVD, LPCVD, lan PECVD, grafit berpori kemurnian tinggi nduweni peran penting ing pemanas, pembawa wafer, lan komponen ruang internal sing kena gas reaktif lan suhu dhuwur. Konduktivitas termal bahan sing apik banget njamin transfer panas sing cepet lan seragam, dene struktur berpori ngidini jebakan produk sampingan deposisi sing dikontrol, nyuda pengelupasan lan pelepasan partikel sajrone operasi peralatan sing luwih dawa. Iki langsung nyumbang kanggo stabilitas proses sing luwih apik, interval perawatan sing luwih dawa, lan wektu operasional peralatan sing luwih suwe.

Grafit berpori kemurnian tinggi saka Semixlab diprodhuksi miturut sistem kontrol kualitas sing ketat, kanthi manajemen pemilihan bahan mentah, pemurnian, lan teknik mikrostruktur sing teliti. Nalika umur layanan sing luwih dawa utawa operasi ing lingkungan kimia sing luwih nuntut dibutuhake, produk iki kompatibel karo lapisan pelindung canggih kayata SiC utawa TaC. Nggunakake fleksibilitas desain sing luar biasa, kemampuan mesin, lan teknologi lapisan semikonduktor canggih, solusi kita bisa disesuaikan kanthi tepat karo syarat khusus platform peralatan semikonduktor lan simpul proses sampeyan. Kita pancen ngarep-arep bisa dadi mitra jangka panjang sampeyan ing China.