EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Perahu Wafer SiC Kemurnian Tinggi
Minangka produsen Cina lan pemasok High-Purity SiC Wafer Boat, Semixlab's Silicon Carbide wafer boat digunakake akeh ing link proses utama kayata LPCVD, oksidasi lan anil amarga stabilitas termal sing apik, tahan korosi lan kekuatan mekanik. Yen sampeyan nggoleki SiC Wafer Boat sing bisa nyilikake kontaminasi partikel, ngluwihi umur layanan lan njamin safety wafer, produk iki bakal dadi pilihan sing cocog.
Description
Ing lapangan manufaktur semikonduktor, pangolahan suhu dhuwur nyebabake tantangan banget kanggo operator wafer. Nalika suhu ngluwihi 1600 ℃, operator kuarsa tradisional (wafer digunakake prau kuarsa) wiwit soften lan deform lan ngeculake polutan, nyebabake tingkat kethokan wafer soar.
Perahu Wafer SiC Kemurnian Tinggi, kanthi kaluwihan materi silikon karbida (SiC), ngrampungake titik nyeri industri iki lan dadi alat penting kanggo manufaktur semikonduktor maju, utamane produksi piranti listrik SiC.
specifications
Sifat fisik inti lan paramèter teknis produk:
| Petunjuk kinerja | Perahu Wafer SiC Kemurnian Tinggi | Pembawa kuarsa tradisional | kaluwihan apik |
| Suhu maksimum operasi | 1800°C (terus-terusan) / 2000°C (puncak) | 1200 ° C | Tahan suhu tambah 50% |
| Konduktivitas termal | 4.9 W/cm·K (suhu kamar) | 1.5 W/cm·K | Efisiensi pambuangan panas tambah 226% |
| Koefisien ekspansi termal | 4-5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻⁶/K | Stabilitas termal tambah 7 kaping |
| Atose | Mohs 9.2 (kapindho mung kanggo berlian) | Moh 7 | Ketahanan nyandhang tambah 30 kaping |
| Tekanan titik kontak wafer | <5 MPa (desain anti-slip) | > 20 MPa | Tingkat slip wafer suda 80% |
| Pelepasan partikel | 0 partikel/cm² (Kebersihan kelas 100) | >50 partikel/cm² | Polusi cedhak nol |
Kinerja sing apik saka operator wafer silikon karbida (SiC Wafer Carrier) asale saka sifat ilmu material sing unik. Ing ngisor iki minangka perbandingan rinci paramèter fisik utama:
Parameter kasebut langsung nerjemahake asil sing luwih apik lan nyuda biaya ing manufaktur semikonduktor, kaya sing ditampilake ing ngisor iki:
Kauntungan kinerja termal: Celah pita lebar SiC (3.26 eV) njamin struktur kristal sing stabil ing 2000 ° C lan ngindhari deformasi termal. Konduktivitas termal sing dhuwur (4.9 W/cm·K) ngidini wafer dipanasake luwih rata lan ngilangi cacat kisi sing disebabake dening stres termal.
Kekuwatan mekanik: 9.2 Kekerasan Mohs nolak impact fisik sajrone proses kasebut, lan umur layanan luwih saka 10 kaping luwih saka operator kuarsa tradisional. Desain slot semicircular unik ngontrol stres kontak wafer ing ngisor 5MPa, kanthi dhasar ngilangi fenomena slip suhu dhuwur.
Inertness kimia: Toleransi kanggo gas banget korosif kayata HF lan HCl ngluwihi 10,000 jam, lan polusi nol maintained ing LPCVD, difusi, oksidasi lan pangolahan liyane.
aplikasi
Peran utama saka High Purity SiC Wafer Boat
Perahu Wafer SiC Kemurnian Tinggi kita akeh digunakake ing proses manufaktur semikonduktor kunci ing ngisor iki:
Suhu dhuwur Annealing: Ing jalur produksi pabrikan wafer sic, anil suhu dhuwur minangka langkah kunci kanggo ngaktifake dopan lan ndandani cacat kisi. Stabilitas suhu dhuwur kapal wafer SiC njamin keseragaman lan efektifitas proses annealing.
Pertumbuhan Epitaxial: Apa iku epitaxy basis silikon utawa silikon carbide wafer epitaxy, resistance suhu dhuwur lan resistance karat saka SiC wafer boat ndadekake operator becik kanggo njamin wutah lapisan epitaxial kualitas dhuwur.
Difusi: Ing tungku difusi suhu dhuwur, prau wafer SiC ing prau wafer LPCVD bisa tahan perawatan suhu dhuwur jangka panjang kanggo mesthekake panyebaran seragam atom doping lan mbentuk sifat listrik sing tepat.
Deposisi film tipis: Utamane kanggo aplikasi kapal wafer Lpcvd, partikel sing sithik banget lan konduktivitas termal kapal wafer SiC sing apik banget mbantu entuk film sing seragam lan berkualitas tinggi.
Kompatibilitas peralatan lan proses sing kompatibel:
✔ Kompatibel karo tungku LPCVD mainstream (kayata TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar, lsp)
✔ Spesifikasi wafer sing bisa disesuaikan kayata 100mm/150mm/200mm
✔ Ndhukung instalasi peralatan proses horisontal lan vertikal
Kapal wafer SiC Semixlab minangka pilihan sing cocog kanggo nambah efisiensi proses lan asil produk, lan dadi pimpinan ing solusi kapal wafer Semikonduktor sing maju.
Layanan kita
Toko Produk Semixlab
toko produk Semixlab
