EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Wafer Piezoelektrik PZT
Kanthi tuwuhing komunikasi 5G, obat-obatan presisi, lan piranti sing bisa dienggo kanthi cerdas, panjaluk pasar kanggo transduser MEMS kanthi sensitivitas dhuwur lan daya rendah saya tambah. Wafer piezoelektrik kita (PZT ing Si/SOI) nggunakake proses deposisi film tipis canggih kanggo entuk keseragaman sing luar biasa lan sifat piezoelektrik sing unggul ing substrat silikon, dadi inti dhasar kanggo konversi energi elektro-mekanik sing efisien.
Description
Layanan khusus
Saliyané nawakaké wafer PZT 8 inci standar, kita uga nyedhiyakaké kemampuan kustomisasi sing ekstensif sing disesuaikan karo kabutuhan khusus klien kita:
● Keragaman Substrat: Kita ndhukung deposisi ing wafer Si lan wafer SOI (kanthi resistivitas > 5000 ohm/cm).
● Kustomisasi Film Tipis: Jinis lan kekandelan film tipis tartamtu bisa diatur supaya cocog karo spesifikasi desain.
● Ukuran Fleksibel: Kita nawakake kemampuan pangolahan kanggo format wafer 6 inci lan 8 inci.
● Wafer sing disedhiyakake pelanggan: Kita nampa substrat sing disedhiyakake pelanggan kanggo pertumbuhan film tipis piezoelektrik.
Mitra Teknis Panjenengan: Kita setya nyedhiyakake dhukungan lengkap—wiwit saka pangembangan materi nganti kustomisasi struktural. Apa sampeyan lagi ana ing fase R&D laboratorium utawa ing tahap produksi massal, tim teknis kita wis siyap nyedhiyakake solusi piezoelektrik sing paling cocog karo kabutuhan sampeyan.
specifications
Produk standar kita diprodhuksi nggunakake proses 6 inci lan 8 inci, kanthi desain struktural multi-lapisan canggih sing njamin kinerja sing stabil ing saindhenging alur kerja fabrikasi MEMS sing kompleks.
Parameter Struktur Lapisan (Standar 8-inci)
| lapisan | kekandelan | cathetan |
| Elektroda Ndhuwur | selaras | Elektroda Ndhuwur |
| Lapisan Piezo | selaras | Lapisan Piezoelektrik Inti |
| Lapisan Buffer | selaras | Lapisan Kontrol Orientasi Butir |
| Elektroda Ngisor | 100 nm ± 10% | Elektroda Ngisor |
| Lapisan Adhesi | selaras | Lapisan Adhesi |
| Kencan | selaras | Pilihan 4/6/8-inci Kasedhiya |
Indikator Kinerja Utama (Karakteristik)
● Konstanta Piezoelektrik (d31): 200 pC/N — Njamin output pamindahan mekanik sing efisien banget.
● Koefisien Piezoelektrik (e31): −15 C/m² — Nyedhiyakake respon muatan listrik sing sensitif banget.
● Keseragaman Tinggi: Diverifikasi liwat analisis difraksi XRD, film PZT nuduhake orientasi (100) sing kuwat, njamin keseragaman kinerja sing luar biasa ing kabeh wafer.
| Karakteristik PZT | PZT Polikristal |
| Konstanta piezoelektrik d31 | 200 pC/N |
| koefisien piezoelektrik e31 | -14 C/m² |
| Suhu Curie | X ℃ |
Gambar SEM lan XRD
aplikasi
Lima Area Aplikasi Utama
1. Transduser Ultrasonik Piezoelektrik (pMUT)
Ngoptimalake konstanta piezoelektrik dhuwur saka film tipis PZT kanggo nggawe array ultrasonik miniatur frekuensi dhuwur. Ditrapake sacara wiyar ing pangenalan bekas driji ing sangisore layar, sensor gerakan, lan sistem radar ultrasonik otomotif.
2. Filter & Komunikasi RF (RF MEMS)
Ing sistem komunikasi 5G lan 6G, bahan piezoelektrik kinerja dhuwur penting banget kanggo nggawe filter FBAR lan SAW, sing ndadekake bandwidth luwih amba lan kerugian penyisipan sing luwih murah.
3. MEMS Akustik (Speaker/Mikrofon)
Ndayakake speaker MEMS kanthi respon transien lan Tingkat Tekanan Swara (SPL) sing unggul, nalika bebarengan ningkatake Rasio Sinyal-kanggo-Noise (SNR) saka mikrofon MEMS kanggo ngaktifake panangkepan audio definisi dhuwur.
4. Kontrol Cairan Presisi (Printhead Inkjet)
Nggunakake getaran kecepatan tinggi ing mode d31 kanggo entuk presisi tingkat nanoliter ing kontrol volume tetesan tinta; dadi komponen aktuasi inti kanggo sistem pencetakan inkjet resolusi tinggi kelas industri.
5. Estetika Medis & Pompa Mikro
Nglakokake nebulizer medis lan pompa ultrasonik estetis. Nggunakake ukuran sing kompak lan linuwih dhuwur saka film tipis PZT, kita ngaktifake atomisasi sing efisien lan pangiriman obat cair sing tepat.
