Pemanas Grafit Kemurnian Tinggi
Pemanas Grafit Kemurnian Tinggi Semixlab dirancang kanggo proses termal semikonduktor canggih, kalebu pertumbuhan kristal SiC, epitaksi, CVD, lan annealing suhu dhuwur. Diprodhuksi saka grafit isotropik kemurnian ultra-tinggi, pemanas kita ngasilake konduktivitas termal sing apik banget, respon panas sing cepet, tahan kejut termal sing unggul, lan kinerja sing bisa dipercaya ing lingkungan pangolahan sing ekstrem. Desain khusus lan pilihan lapisan SiC kasedhiya kanggo nyukupi aplikasi semikonduktor sing nuntut.
Description
Solusi Pemanasan Grafit Canggih kanggo Manufaktur Semikonduktor Suhu Tinggi
Ing Semixlab, kita spesialis ing nyedhiyakake Pemanas Grafit Kemurnian Tinggi kinerja dhuwur sing dirancang kanggo proses manufaktur semikonduktor canggih, kalebu pertumbuhan kristal SiC, epitaksi semikonduktor, deposisi CVD, lan perawatan termal suhu dhuwur.
Pemanas grafit kita digawe saka grafit isotropik kemurnian tinggi premium lan dioptimalake kanggo kondisi termal ekstrem, nyedhiyakake kinerja sing dipercaya ing sistem pangolahan semikonduktor vakum, gas inert, lan suhu dhuwur.
Perané Pemanas Grafit Kemurnian Tinggi ing Proses Semikonduktor
① Proses Pertumbuhan Kristal SiC (PVT)
Salah sawijining aplikasi sing paling penting saka Pemanas Grafit Kemurnian Tinggi yaiku pertumbuhan kristal massal SiC nggunakake metode Transportasi Uap Fisik (PVT).
Sajrone tuwuhing kristal SiC, suhu biasane ngluwihi: 2000℃
Pemanas grafit nyedhiyakake medan termal sing stabil sing dibutuhake kanggo:
● Sublimasi bubuk SiC
● Kontrol transportasi uap
● Tuwuhing kristal wiji
● Optimalisasi kualitas kristal
② Proses Epitaksi Semikonduktor
Ing sistem pertumbuhan epitaksial kayata:
● Reaktor MOCVD
● Piranti epitaksi SiC
● Sistem epitaksi GaN
Pemanas grafit nyedhiyakake pemanasan wafer sing presisi lan keseragaman suhu.
Fungsi utami kalebu:
● Njaga suhu proses wafer
● Ngapikake keseragaman lapisan epitaksial
● Ndhukung reaksi kimia sing stabil
③ CVD lan Pangolahan Termal Suhu Tinggi
Pemanas Grafit Kemurnian Tinggi uga digunakake sacara wiyar ing:
● Sistem CVD
● Piranti anil
● Tungku difusi
● Sistem RTP
Kenapa milih Semixlab?
① Keahlian Material Kelas Semikonduktor
Ing Semixlab, kita fokus ing bahan karbon lan keramik canggih kanggo aplikasi semikonduktor.
Solusi grafit kita dikembangake kanthi kontrol sing ketat marang:
● Kamurnian materi
● Keseragaman struktural
● Kualitas lumahing
● Kinerja termal
② Kinerja Termal sing Dioptimalake
Pemanas grafit kita nyedhiyakake Konduktivitas Termal sing Apik banget, Njamin:
● Respon pemanasan sing cepet
● Distribusi suhu sing stabil
● Tahan Kejutan Termal sing Luar Biasa
Ndhukung:
● Siklus termal sing kerep
● Umur operasi sing dawa
● Kapabilitas Suhu Dhuwur
③ Kapabilitas Desain Khusus
Semixlab nyedhiyakake solusi pemanas grafit khusus miturut kabutuhan pelanggan, kalebu:
● Dimensi pemanas
● Konfigurasi daya
● Pilihan kelas grafit
● Pilihan lapisan permukaan
● Kompatibilitas peralatan
Kita ndhukung macem-macem platform semikonduktor lan sistem pangolahan termal nganggo solusi khusus aplikasi.
specifications
| Sifat fisik grafit isostatik | ||
| Property | unit | Value khas |
| Akeh Kapadhetan | g / cm³ | 1.83 |
| Atose | HSD | 58 |
| Resistivitas Listrik | μΩ.m | 10 |
| Kekuwatan Fleksural | MPa | 47 |
| Kekuwatan Kompresif | MPa | 103 |
| Kekuatan tarik | MPa | 31 |
| Modulus Muda | GPa | 11.8 |
| Thermal Expansion (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Konduktivitas Termal | W·m-1K-1 | 130 |
| Ukuran Grain Rata-rata | μm | 8-10 |
| Porosi | % | 10 |
| Konten Ash | ppm | ≤5 (sawise diresiki) |
Layanan kita

Toko Produk Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




