EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Prau & Pengangkut Wafer Kuarsa Kelas Semikonduktor
Semixlab High-Purity Quartz Wafer Boat – uga diarani minangka pembawa wafer kuarsa utawa kaset – minangka komponen medan termal sing digunakake sacara ekstensif ing pangolahan semikonduktor suhu dhuwur. Iki digawe saka silika leburan kanthi kemurnian ultra-tinggi (SiO₂ ≥ 99.999%) lan dadi pembawa struktural kanggo wafer silikon, SiC, lan GaN ing langkah difusi termal, oksidasi, annealing, LPCVD, lan PECVD.
Description
Gambaran Umum Product
Diprodhuksi kanthi kontrol kualitas sing ketat, prau kuarsa Semixlab njaga tingkat pengotor logam total ing ngisor 15 ppm (divalidasi dening GDMS utawa ICP-OES) lan nawakake pilihan hidroksil rendah ing < 5 ppm. Produk-produk iki nuduhake resistensi sing kuwat kanggo kendur, deformasi, lan kontaminasi logam sajrone operasi tungku suhu dhuwur sing nuntut.
Kustomisasi sing Kasedhiya
Semixlab ndhukung prau wafer kuarsa sing disesuaikan – kalebu prau tangga, prau pelat horisontal, prau cangkang, lan kapal pengangkut batch – sing digawe miturut gambar pelanggan, file CAD, lan spesifikasi peralatan.
specifications
Spesifikasi Utama & Performa Teknis
| Property | Nilai Semixlab | Benefit |
| Kemurnian Kimia | SiO₂ ≥ 99.999%; Fe, Cu, Li, Na, K <15 ppm | Nyuda kontaminasi logam |
| Kandungan hidroksil | Kadar OH-rendah < 5 ppm; Standar < 30 ppm | Nambah stabilitas suhu dhuwur |
| suhu makarya | 1200°C terus-terusan / puncak 1300°C | Njaga kekakuan sajrone siklus tungku |
| Ekspansi Termal | 0.45 × 10⁻⁶ /°C | Resistensi kejut termal sing apik banget |
| Akurasi Slot Pitch | ± 0.05 mm | Penanganan wafer robot sing bisa dipercaya |
| lumahing Rampung | Dipanasi nganggo geni / Dipoles nganggo mikro (Rz < 0.8 μm) | Ngurangi partikel lan mikro-retakan |
aplikasi
Aplikasi Proses
· Tungku oksidasi lan anil termal
· Proses difusi dopan boron/fosfor
· Deposisi film tipis LPCVD lan PECVD
· Manufaktur semikonduktor generasi katelu (SiC & GaN)
Advantage competitive
Proposisi Nilai Inti & Kauntungan Teknis
1. Mesin Sub‑Mikron & Slotting Presisi
Mesin laser CNC canggih lan slotting berlian menehi kontrol sing rapet marang geometri slot, sing ndhukung pemuatan wafer otomatis lan mbantu nyegah kerusakan wafer.
2. Kuarsa Leburan Viskositas Tinggi Hidroksil Ultra Rendah
Kuarsa leburan OH rendah khusus kita ngasilake stabilitas struktural sing apik lan minimalake owah-owahan bentuk sajrone siklus termal dawa ing ndhuwur 1100°C.
3. Proteksi Permukaan sing Dipoles Geni
Anil geni lan polesan kimia nambah kapadhetan permukaan, nambah daya tahan reresik, lan nyuda generasi partikel.
4. Kompatibilitas Peralatan OEM
Kita nawakake prau kuarsa panggantos khusus kanggo TEL, ASM, Kokusai, SVCS, LPE, lan sistem pangolahan termal liyane.
Layanan kita
