Bagian Kuarsa

Kuarsa isih ana ing endi-endi ing pangolahan semikonduktor. Iki dudu barang anyar, nanging bisa dipercaya, lan umume pabrik wis kenal karo cara kerjane. Anggere kemurnian dikontrol, kuarsa bisa digunakake kanthi apik ing langkah difusi, oksidasi, lan pembersihan.

Akeh bagean kuarsa sing digunakake kanggo sistem tungku utawa piranti PECVD. Pangarepan utama yaiku stabilitas — ora mesthi umure dawa, nanging kinerja sing bisa diprediksi. Biasane cukup apik kanggo akeh proses standar.

Mesthi wae, kuarsa pancen nduweni watesan. Kuarsa bisa luwih cepet rusak ing kahanan tartamtu, utamane dibandhingake karo SiC. Nanging amarga gampang ditemokake lan ora larang banget, wong isih kerep nggunakake.