Keramik SiC

Keramik SiC saya tambah akeh digunakake ing peralatan semikonduktor, utamane amarga luwih awet ing kahanan sing luwih angel. Nalika suhu dadi dhuwur utawa proses dadi luwih agresif, bahan kaya kuarsa utawa silikon bisa wiwit nuduhake watesan, lan biasane ing kono SiC digunakake. Ing proses tungku kayata oksidasi utawa difusi, bagean kaya prau wafer utawa dayung sing digawe saka SiC cenderung luwih awet. Bentuke tetep lan ora nggawa akeh kontaminasi, sanajan wis suwe digunakake. Wong asring ngganti saka kuarsa amarga alesan iki, utamane nalika pangopènan dadi kerep banget.

Kanggo etsa, SiC asring dipilih mung amarga tahan luwih suwe ing plasma. Bedane umur dibandhingake karo bagean silikon katon ing pirang-pirang persiyapan, sanajan isih gumantung saka proses sing tepat. Iki uga mbantu sethithik karo kontrol partikel, sing dadi luwih sensitif nalika simpul nyusut. Sampeyan uga bakal weruh SiC digunakake minangka susceptor ing MOCVD utawa CVD. Ing kasus kasebut, kurang babagan "kekuatan" lan luwih babagan njaga prilaku suhu stabil. Saliyane iku, katon ing bagean ruang kaya liner utawa showerhead, lan kadhangkala uga ing penanganan komponen.